系统放大倍数和分辨率 几何放大倍数 可达2060倍 总放大倍数 可达12800倍 细节分辨能力 使用纳米射线管时可到200nm(0.2 μm) 密度分辨率 0.5% X射线管 最大管电压 225kV 最大管功率 50W 射线剂量率稳定性 <0.5%/8h 检测平台 X-Y扫描范围 610mmⅹ460mm 最大工件尺寸 710mmⅹ560mm 重量 5kg ovhm最大放大比时倾斜扫描视野 视角可达61° 控制 操纵杆控制(手动模式)或数控编程控制(自动模式) 轴运动速度(X-Y-Z) 10 μm/s到80mm/s 检测台功能 工件X射线绘图,运动优化功能,放大优化功能,自动移 动装置, 激光准直 ACS防碰撞系统 最大放大倍数检测时此功能无效 图像处理 quality|assurance 功能强大的X射线检测软件,包含图像增强功能,测量功 能,数控编程功能以实现自动检测 射线防护 安全防护室 铅钢防护,铅玻璃,辐射泄漏率<1μSv/h
系统尺寸 尺寸 1800mmⅹ1800mmⅹ1300mm (WⅹHⅹD) 高度可调控制面板(D) 500mm 重量 2000kg 系统配置(选项) 低剂量模式 只在图像采集过程中开启射线以减少剂量 X射线性能监测 阳极检查,焦点检查,分辨率测试
软件选项 bga|模块 BGA焊点自动评价,包括自动润湿度分析 qfp|模块 QFP焊点自动评价,包括自动润湿度分析 vc|模块 缺陷自动计算软件包 ws|模块 焊线偏移自动检测软件模块 quality|review 用于修改的可视界面和故障指示 X射线管 总体结构 类型 开管,穿透式管头,170度锥角,准直功能 阳极 钨靶 阴极 钨丝;预校灯丝快锁式阴极(座),即插即用。 真空系统 无油式涡轮分子真空泵 微焦点射线管 电压/功率 160kV/20W 或 225kV/20W 细节分辨能力 1μm 高功率纳米焦点射线管 电压/功率 160kV/50W 细节分辨能力 200-300nm(0.2-0.3 μm) 双模式纳米焦点射线管 电压/功率 100kV/160kV/20W 细节分辨能力 200-300nm(0.2-0.3 μm)/100kV-1 μm/160kV 探测器 高质量图像链 6″单视场图像增强器 9″二视场图像增强器,带CCD相机(CCIR或EIA)和17″TFT 显示器 数字图像链 增强的对比度和提高的分辨率。高分辨率全数字图像链使 用4″单视场图像增强器,或高精度4″二视场图像增强 器,12位1kⅹ1k数字相机(25fps) 和17″TFT显示器 超高对比度图像链 Lanex闪烁层,16位非晶硅数字阵列探测器,16位 quality|assurance 软件实现超高密度分辨率,可达 65000灰度级 pcba analyser 检测台 ovhm|模块46 最大放大倍数时0°-46°的倾斜扫描 ovhm|模块61 最大放大倍数时倾斜扫描扩展到61° dual-ovhm|模块46准备 倾斜扫描0°-46°带图像链,为附加的高对比度探测器作 准备 转台 0°-360°旋转,使ovhm在任意角度可用 倾斜/旋转单元 倾斜±45°,旋转nⅹ360°,工件不重于2kg |