主要技术参数

系统放大倍数和分辨率
几何放大倍数 可达2100倍
细节分辨能力 <1微米

亚微米级X射线管
类型 开放管，透射式管头，170度辐射角，准直功能
最大管电压 160kV
最大管功率 20W
阳极靶 无毒钨靶，可旋转调整以便多次使用
阴极灯丝 钨丝，经预调的即插式结构，更换简单快速
真空系统 涡轮分子真空泵和无油式低真空泵

探测器
数字成像链 高分辨率4"图像增强器和2百万像素数字照相机

检测平台
总体结构 高精度、无振动、5轴同步驱动
最大检测区域 410mm×410mm
最大工件尺寸/重量 410mm×410mm/5kg
高放大倍率下倾斜视角 0°~70°无级调节
旋转角度 360°连续旋转
操控 操纵杆控制或鼠标（手动模式）和数控编程控制（自动模式）
轴运动速度(X-Y-Z)                   10μm/s到80mm/s
操控辅助功能 X射线影像导航图，点击移动功能，点击放大功能，自动保持视
野中心功能，激光定位瞄准
防碰撞装置 防止检测样品与射线管产生碰撞

图像处理
quality|assurance/x|act base 功能全面的X射线二维图像分析软件（包含图像对比增强和滤波
功能、测量功能、数控编程功能）
bga|module(标准)                              BGA焊点自动检测功能
vc|module(标准) 空隙面积比自动计算，包括多芯片的贴装空隙检测功能

系统尺寸
尺寸(W×H×D)                           1800mm×1900mm×1300mm (不包括控制台和可拆卸后伸展台)
高度可调控制面板 400mm
重量 约2100kg

射线防护
全方位防护铅 钢防护结构与铅玻璃窗的安全屏蔽室辐射泄
漏率 <1μSv/h, 符合国际标准

硬件选配
倾斜/旋转装置 倾斜±45°，连续旋转360°，承重工件2kg
平板探测器 可替换图像增强器
CT功能 需CT用高精度旋转装置与平板探测器